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- 采用压电陶瓷作为微驱动元件,设计了一种尺寸为50 mm×50 mm×10 mm,基于尺蠖蠕动原理工作的新 型全方位精密微小型移动机器人,以其作为负载平台,用于精密操作过程中对微小元件的搬运、操作、精密定位等. -Using piezoelectric ceramics as micro-drive components, has designed a size of 50 mm × 50 mm × 10 mm, based on the inchworm principle of wor