为了实现电镜拉伸台高精度载荷大的要求，针对拉伸台电机和位移、力传感器设计了相应的驱动和处理电路，采用 NI－USB6363 采集卡实现对信号的接收并通过 LabVIEW 程序进行处理和反馈控制。 实验结果表明，该控制系统能够完成电镜拉伸台的精度要求。-In order to realize the high precision and large load of the electron microscope,the motor drive and sensor signal processin