微电子技术是当代电子技术的核心，在国民经济和国家战略上发挥着重要影响，集成电路从20世纪60年代的“小规模集成”发展到现在的“超大规模集成”，而作为微电子技术的重要组成部分，半导体存储器技术也迅速朝着“更高密度，更快速度，更低功耗”的方向发展。(Microelectronics is the core of contemporary electronic technology and plays an important role in national economy and national