文件名称:半导体厂自动化之通讯协定 SECS III & GEM
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基于SECS(I)串口通讯的 SECS通讯协议,主要介绍SECS(1) SECS(II)(SECS communication protocol based on SECS (I) serial port communication)
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文件名 | 大小 | 更新时间 |
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半导体厂自动化之通讯协定 SECS III & GEM.pdf | 706623 | 2018-09-03 |
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