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文件名称:微纳加工技术/

  • 所属分类：
    技术管理
  • 标签属性：
    [PDF]
  • 上传时间：
    2012-06-14
  • 文件大小：
    52.29mb
  • 已下载：
    0次
  • 提 供 者：
    feiyanglydia
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    无
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微米纳米加工技术—自顶向下 表面加工技术 (Surface Micromachining) 体硅加工技术 (Bulk Micromachining) LIGA (X射线曝光、微电铸、微铸塑) 电火花微加工技术 (Discharging) 激光微加工技术 (Laser micromachining) 电子束微加工技术 (E-Beam micromachining) 聚焦离子束（FIB, Focus ion beam）
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微纳加工技术/
微纳加工技术/attachments_2011_10_29.zip
微纳加工技术/Bulk Micromachining.pdf
微纳加工技术/Bulk Micromachining_Sequences - handout.pdf
微纳加工技术/MEMS概述-2011-new.pdf
微纳加工技术/surface micromachining-handout.pdf
微纳加工技术/后半部分课件.rar
微纳加工技术/微电子加工技术概述-2011-handout.pdf
微纳加工技术/微电子加工技术概述-2011.pdf
微纳加工技术/文档 1.pdf
微纳加工技术/硅微机械加工技术_黄庆安.pdf
微纳加工技术/聚合物MEMS加工技术-2011-handout.pdf

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