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SourceInsight3.5
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SourceInsight_3.50.0064_XiaZaiBa
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adf
- 近年来, 利用尖端效应引起的场发射现 象, 在科学技术上实现了一系列新进展二如利 用场发射尖端作成了分辨率达到“埃” 级的场 离子显微镜( FIM )和扫描隧道显微镜(ST M ) , 实现了显微技术的革新 又如利用薄膜场发 射阴极研制成功真空微电子器件, 它在集成 度、运算速度 、 功耗和可靠性上都远优于固体-In recent years, the field emission phenomenon caused by the use of cutting-e