微米纳米加工技术—自顶向下 表面加工技术 (Surface Micromachining) 体硅加工技术 (Bulk Micromachining) LIGA (X射线曝光、微电铸、微铸塑) 电火花微加工技术 (Discharging) 激光微加工技术 (Laser micromachining) 电子束微加工技术 (E-Beam micromachining) 聚焦离子束（FIB, Focus ion beam）